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Porvair是一家專(zhuān)業(yè)的過(guò)濾和環(huán)境技術(shù)集團,擁有三個(gè)運營(yíng)部門(mén)——航空航天與工業(yè)、實(shí)驗室和金屬熔體質(zhì)量。他們在英國、美國、德國、荷蘭和中國開(kāi)展業(yè)務(wù)。Porvair Sciences是為生物技術(shù)和生命科學(xué)行業(yè)制造和開(kāi)發(fā)尖端多孔塑料材料和微孔板技術(shù)的全球領(lǐng)導者。SELEE率先在金屬過(guò)濾技術(shù)中使用陶瓷泡沫。由于對創(chuàng )新的承諾,SELEE始終處于所有類(lèi)型熔融金屬的過(guò)濾、熔體處理和轉移工藝最新發(fā)展的前沿。JG Finneran Associates是一家為全球色譜、生物技術(shù)、環(huán)境和實(shí)驗室社區提供獨特創(chuàng )新產(chǎn)品的制造商和供應商。這些產(chǎn)品旨在提供可靠的性能,同時(shí)節省時(shí)間和金錢(qián)。以下就是深圳市科電遠揚科技有限公司為您介紹的美國PORVAIR過(guò)濾器應用設計,深圳市科電遠揚科技有限公司專(zhuān)注歐美國家等歐洲工業(yè)品備件,數萬(wàn)工業(yè)品牌及供應商,質(zhì)量保證!為您提供優(yōu)秀的采供服務(wù),歡迎來(lái)電咨詢(xún)合作!
美國PORVAIR的LiquiPro™過(guò)濾器和過(guò)濾器外殼系列專(zhuān)為以下應用而設計:
化學(xué)機械拋光(CMP)是STI、銅、氧化物或鎢的關(guān)鍵微電子學(xué)工藝步驟。這些先進(jìn)的CMP工藝需要過(guò)濾器來(lái)滿(mǎn)足減少劃痕改進(jìn)以及高效去除率的嚴格要求。CMP過(guò)濾器主要采用先進(jìn)的聚丙烯介質(zhì)設計,帶有聚丙烯支撐、芯、籠、用于濾芯或一次性膠囊的端蓋。這些過(guò)濾器與氧化鋁、膠體和二氧化鈰類(lèi)型的化學(xué)漿料兼容。這些適用于使用點(diǎn)(POU)或散裝漿料輸送系統(BSDS)。他們的LiquiPro™SL過(guò)濾器適用于這些應用。
美國PORVAIR過(guò)濾器CMP后清潔——在CMP后清潔過(guò)程中,應用材料Reflexion工具系列通常使用稀氫氟酸或氨溶液。這是一種帶有親水性PES膜的濾筒。他們的LiquiPro™BU過(guò)濾器專(zhuān)為此特定目的而設計。
美國PORVAIR過(guò)濾器PVD–鍍銅過(guò)濾器專(zhuān)用于LAM用于鑲嵌和TSV工藝的高級Cu SO4電鍍工具。電化學(xué)電鍍槽化學(xué)品安裝有10英寸濾芯ECP過(guò)濾器。
美國PORVAIR的LiquiPro™CO系列過(guò)濾器專(zhuān)為去除細顆粒而設計,可在硫酸銅電鍍溶液中實(shí)現電鍍一致性。親水性PTFE膜與多種電鍍添加劑配合良好,可消除電鍍導致的缺陷。該工具還有一個(gè)單陽(yáng)極室(SAC),其中安裝了一個(gè)5英寸的一次性過(guò)濾器。他們的LiquiPro™SL過(guò)濾器適用于此目的。
美國PORVAIR過(guò)濾器濕法蝕刻清潔(WEC)過(guò)濾器在清潔、蝕刻或剝離的許多前端或后端化學(xué)過(guò)程中占主導地位。在環(huán)境溫度或高溫下使用范圍廣泛的酸、堿和溶劑需要在過(guò)濾介質(zhì)和硬件中采用不同的過(guò)濾器。除此之外,在關(guān)鍵半導體。工藝過(guò)程中,對超高純度和低金屬萃取物的需求是所有過(guò)濾器的必備條件。對于其中的許多應用,他們推薦全氟聚合物濾芯產(chǎn)品。LiquiPro™F2、F3和SH過(guò)濾器系列配備疏水性PTFE膜和PFA芯、籠、端蓋硬件,可滿(mǎn)足所有要求。在使用腐蝕性較低的化學(xué)品的蝕刻或剝離工藝中,可以使用帶有聚丙烯硬件的含氟聚合物膜。他們的LiquiPro F2™系列非常適合這種應用。同樣,在許多工具中發(fā)現的CDA(壓縮干燥空氣)過(guò)濾中,主要采用具有PTFE膜和PP硬件結構的筒式過(guò)濾器。LiquiPro™FG系列過(guò)濾器專(zhuān)為此目的而設計。
美國PORVAIR過(guò)濾器光刻-在光刻工藝中,高粘度光刻膠與顯影劑和剝離工藝一起使用各種膜材料來(lái)消除浴化學(xué)中的污染物。在顯影過(guò)程中,TMAH或KOH和去離子水等化學(xué)品使用一次性過(guò)濾器形式的親水PES膜。LiquiPro™MI系列囊式過(guò)濾器由具有HDPE支持的PES膜制成,適用于顯影劑和去離子水過(guò)濾。
美國PORVAIR過(guò)濾器高級光刻膠系統通常由溶劑、光致產(chǎn)酸劑(PAG)、酸猝滅劑、添加劑和表面活性劑組成。LiquiPro™MI(PTFE)和PN(尼龍)系列都具有出色的過(guò)濾性能,可以去除大多數光刻膠化學(xué)品中存在的凝膠。
美國PORVAIR過(guò)濾器化學(xué)品輸送系統——在散裝化學(xué)品輸送系統中,通常使用各種筒式過(guò)濾器來(lái)處理漿液、酸、堿和溶劑。通常,10"、20"和30"的濾芯安裝有PP、PFA和不銹鋼外殼。
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美國PORVAIR過(guò)濾器水清洗–這是參考使用直接或再循環(huán)去離子水進(jìn)行清潔和沖洗的系統。LiquiPro™DI筒式過(guò)濾器由褶皺PES膜和PP硬件構成。對于一次性類(lèi)型,可提供LiquiPro™MI PP系列。
一般過(guò)濾——他們有一系列PP過(guò)濾器,無(wú)論是熔噴濾芯還是折疊式濾芯,都可用于一般過(guò)濾,包括帶褶皺介質(zhì)的LiquiPro™PA。過(guò)濾外殼——他們提供一系列精選的濾筒外殼,適用于高溫下的腐蝕性化學(xué)品、溶劑、弱酸、堿、漿液和水:
美國PORVAIR過(guò)濾器LiquiPro™EZ PFA外殼:獲得專(zhuān)利的PFA外殼由最高純度的PFA制成,其特點(diǎn)包括節省空間的設計以及與替代PFA外殼的兼容性。
YS不銹鋼外殼:電拋光不銹鋼外殼,適用于70毫米和80毫米濾芯式過(guò)濾器,用于溶劑。
YP外殼:適用于許多一般應用的單筒外殼。適用于70毫米和80毫米筒式過(guò)濾器。對于直徑為130毫米的過(guò)濾器,還提供uPVC外殼。
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